分析与处理过程：在故障出现后，观察X轴拖板，发现实际拖板振动位移很小；但触摸电动机输出轴，可感觉到转子在以很小的幅度、极高的频率振动：且振动的噪声就来自X轴伺服电动机。

        考虑到振动无论是在运动中还是静止时均发生，与运动速度无关，故基本上可以排除测速发电机、位置反馈编码器等硬件损坏的可能性。驱动器维修

        分析可能的原因是CNC中与伺服驱动有关的参数设定、调整不当引起的；且由于机床振动频率很高，因此时间常数较小的电流环引起振动的可能性较大。

        由于FANUC 15MA数控系统采用的是数字伺服，伺服参数的调整可以直接通过系统进行，维修时调出伺服调整参数页面，并与机床随机资料中提供的参数表对照，发现参数PRM1852、PRM1825与提供值不符，设定值见下     驱动器维修

                 参数号            正常值          实际设定值

                  1852              1000                  3414

                  1825              2000                  2770

 将上述参数重新修改后，振动现象消失，机床恢复正常运行。   驱动器维修